等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，用真空泵實(shí)現一定的真空度，隨著(zhù)氣體越來(lái)越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也越來(lái)越長(cháng)，受磁場(chǎng)作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時(shí)會(huì )發(fā)生輝光。等離子體在電磁場(chǎng)內空間運動(dòng)，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。

　　真空等離子清洗機技術(shù)優(yōu)勢：

　　一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線(xiàn)的處理效率；

　　二、等離子清洗使得用戶(hù)可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問(wèn)題；

　　三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì )產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；

　　四、采用無(wú)線(xiàn)電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線(xiàn)不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果像是甚至更好；

　　五、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛生；

　　六、等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無(wú)論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物）都可以使用等離子體來(lái)處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進(jìn)行部分清洗；

　　七、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著(zhù)力等，這在許多應用中都是非常重要的。