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高溫立式管式爐是由哪些部件構成的?

更新時(shí)間:2022-08-10      點(diǎn)擊次數:1384
  近年來(lái),隨著(zhù)儀器行業(yè)的不斷發(fā)展,高溫立式管式爐在市場(chǎng)上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現,受到了廣泛用戶(hù)的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應用于納米電子學(xué)、半導體、光電工程的研發(fā)、涂料等領(lǐng)域,下面我們就來(lái)具體的了解一下這款儀器!
 
  高溫立式管式爐與普通設備完整不同。此外,由于直接著(zhù)火,任何走漏都可能招致爆炸或火災,這也是非消防設備無(wú)法比較的。 加熱式管式爐的爐管壁溫為400-650℃,加熱反響式管式爐(氫轉化爐)的壁溫常常在850-1000℃的范圍內。高溫爐圈接受低工作壓力,如蒸餾爐,普通1-3mpa,高壓加氫爐,高達18-20mpa。
 
  高溫立式管式爐主要由高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統、分子泵機組、自動(dòng)化控制系統、冷卻系統等組成。
 
  1、沉底材料可采用銅箔、石墨等;
 
  2、生長(cháng)腔體采用進(jìn)口高純石英管,配石英支架、為石墨烯等材料的生長(cháng)提供潔凈環(huán)境;
 
  3、爐膛采用進(jìn)口高純氧化鋁多晶體纖維,不易掉粉、壽命長(cháng)且保溫性能好。加熱絲采用優(yōu)質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲,溫場(chǎng)均勻,能耗低;
 
  4、密封法蘭均采用不銹鋼材質(zhì),配水冷套,可連續長(cháng)時(shí)間工作;
 
  5、氣路系統采用兩路質(zhì)量流量計(可拓展多路),配預混系統;
 
  6、氣體種類(lèi): He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;
 
  7、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過(guò)PLC控制,通過(guò)PC實(shí)時(shí)控制和顯示相關(guān)的實(shí)驗參數,自動(dòng)保存實(shí)驗參數,也可采用手動(dòng)控制;
 
  8、系統采用集成化設計,控制系統、混氣罐、質(zhì)量流量計等均內置在箱體內部,占地面積小。整體安裝四個(gè)可移動(dòng)輪子,方便整體移動(dòng)。
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