設備單工位大口徑快速退火爐特點(diǎn)：

該款設備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成，內控熱電偶用于控制RTP滑軌爐內的溫度，伺服電機用于控制絲桿的轉動(dòng)速度達到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調節爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過(guò)連接手動(dòng)擋板閥、波紋管用于對石英艙體內的真空獲取，進(jìn)氣口除用于通入保護氣體或反應氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。

單工位大口徑快速退火爐結構與原理：

設備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、流量控制系統及工控電腦操作系統。

1、單端封口小型紅外滑軌爐：

該加熱系統采用*制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實(shí)現自動(dòng)分離，爐體上下兩半設計，氣動(dòng)彈簧支撐結構讓操作者可各角度自由打開(kāi)，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強高溫穩定性，可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統由紅外燈管加熱，采用內插熱電偶控溫的方式實(shí)時(shí)顯示石英腔體內部溫度，加熱區長(cháng)度為370mm，恒溫區長(cháng)度200mm，確保兩個(gè)φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區內，為讓樣品在爐管內的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區200mm內的溫場(chǎng)均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個(gè)石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過(guò)程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達到2℃/s， 試樣反應區處在一個(gè)密閉的石英腔體內，在完成工藝的同時(shí)大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內的溫場(chǎng)均勻性及石英艙體內的潔凈度。

2、電機調速裝置：

伺服電機調速裝置用于控制絲桿的轉動(dòng)速度，達到控制爐管部分的整體移動(dòng)速度（含樣件），以此調整快速升降溫的目標速率，電機旋轉速度實(shí)時(shí)顯示并且精確可控，以獲得精確的移動(dòng)速度，滿(mǎn)足降溫時(shí)工藝參數要求。

3、主要參數