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國產(chǎn)高真空機組

簡(jiǎn)要描述：貝意克主要從事實(shí)驗室儀器設備的研發(fā)生產(chǎn)，主營(yíng)各類(lèi)型箱式爐、管式爐、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控濺射、真空鍍膜、薄膜制備、納米材料制備裝備、各種高精度真空箱以及各類(lèi)非標定制，產(chǎn)品領(lǐng)域涉及科研、光電產(chǎn)業(yè)化、半導體、軍工等高科技產(chǎn)業(yè)。公司致力于提供專(zhuān)業(yè)的設備、技術(shù)和服務(wù)，助力全球新材料研發(fā)。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2021-09-28
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：1613

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應用領(lǐng)域化工,能源,電子,電氣

國產(chǎn)高真空機組 VAU-05G

　　1.技術(shù)指標：

環(huán)境溫度

5-32℃

空氣相對濕度

≤85%

工作電壓

AC220V±10% 50/60Hz

功率

1KW

系統整體極限真空度

5.0*10-5pa

實(shí)驗真空度

5.0*10-3pa

外形尺寸

600*600*650mm

 

　　2.主要配置：

主要配置

技術(shù)參數

機械泵

抽氣速率：4L/S

容油量：1.1L

電機功率：400W

極限壓強：6×10-2Pa

分子泵

抽氣速率：100L/S

極限壓強：6×10-6Pa

啟動(dòng)時(shí)間：＜2min

額定轉速：4300轉/分

冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)，水冷。

分子泵控制器

電壓：220V±22V

啟動(dòng)電流：≤7A

輸入頻率：47HZ—63HZ

最大輸出功率：≤150W

最大加速電壓：≤40V

加速時(shí)間：≤3min

頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

                     低速430HZ±5HZ

復合真空計

測量路數：2路（電阻規、電離規各1路）

工作模式：手動(dòng)/自動(dòng)

電阻單元參數

測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范圍：2.5×10>3Pa~5.0×10-1Pa

電離單元參數

可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa

規管除氣方式：焦耳去氣

其他參數

控制路數：4

控制方式：點(diǎn)動(dòng)或區域控制/帶掉電記憶

控制精度：±1%

采樣時(shí)間：1S

電源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用環(huán)境溫度：0℃~45℃

濕度：≤85%

連接管路

采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s


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