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供氣系統

簡(jiǎn)要描述：該供氣系統（ 1路質(zhì)子 2路浮子）是一種可控制三種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，也可根據實(shí)驗需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動(dòng)機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2021-10-14
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：1750

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   供氣系統的主要特點(diǎn)：該（1路質(zhì)子 2路浮子）是一種可控制三種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，也可根據實(shí)驗需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動(dòng)機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。 本配比器適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續供氣。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會(huì )造成大氣進(jìn)入加熱管。氣體壓力和流量數據在同一平面直觀(guān)可讀，外形美觀(guān)，實(shí)用，操作簡(jiǎn)便。流量顯示準確，可有效地控制氣體消耗量。所有儀表及閥門(mén)的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。此款設備與BEQ品牌的各款真空管式爐和真空機組組成CVD系統。

   供氣系統的技術(shù)參數

產(chǎn)品型號
GMF-1Z-2F
浮子流量計
10-100ml/min
16-160ml/min
25-250ml/min
（浮子流量計的量程可根據用戶(hù)需要選訂）
質(zhì)量流量控制器
工作電壓：
185~245V 50HZ
最大輸出功率：
18W
流量計標準量程：
100sccm 、200sccm 、500sccm
（非特殊以氮氣標定，量程可選）
工作溫度：
5~45℃
工作壓差：
0.1~0.5MPa
最大壓力：
3MPa
準確度：
±1.5% FS
機械壓力表
測量范圍：
-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
針閥
316不銹鋼
混氣罐
Φ80×120mm
截止閥
Φ6mm  316不銹鋼針閥
尺寸
600×600×650 mm

 


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