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等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統

簡(jiǎn)要描述：BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統。本設備集真空系統、供氣流量系統、自動(dòng)推進(jìn)、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調，加熱區域長(cháng)度：1650mm。適用范圍寬：金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復合薄膜，連續生長(cháng)各種薄膜等。

  • 產(chǎn)品型號：BTF-1200C-SL-A
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2024-08-15
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：97

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詳細介紹

品牌貝意克

一、設備簡(jiǎn)介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統。本設備集真空系統、供氣流量系統、自動(dòng)推進(jìn)、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調，加熱區域長(cháng)度：1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復合薄膜，連續生長(cháng)各種薄膜等。


二、技術(shù)參數

功率

3KW

額定電壓

AC 220V  50/60HZ

最高溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

空開(kāi)大?。ㄗ詡洌?/span>

2P 40A

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1400mm


等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統

最大滑動(dòng)距離

880mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

質(zhì)量流量計

兩路500sccm+5000sccm

機械泵

10m3/h

設備凈重

約230Kg




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