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簡(jiǎn)要描述：此款設備是快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續生長(cháng)爐，它由高溫生長(cháng)腔體，質(zhì)量流量計氣路系統，真空機組，RF射頻電源模塊，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動(dòng)化控制系統組成，兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放卷的密封裝置），收放密封裝置內分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現有技術(shù)具有快速冷卻、連續生長(cháng)的優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2024-08-06訪(fǎng) 問(wèn) 量：1608產(chǎn)品分類(lèi)
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| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子 |
1.加熱系統
zui高溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ80mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據實(shí)際需要定制。） |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類(lèi)型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7"工控電腦，內置PLC控制程序。 |
加熱長(cháng)度 | 200+200+200mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、三路質(zhì)子流量控制系統
連接頭類(lèi)型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm （可根據用戶(hù)要求定制） |
準確度 | ±1.5%F.S |
線(xiàn)性 | ±1%F.S |
重復精度 | ±0.2%F.S |
響應時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
zui大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
3、低真空機組
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽氣速率 | 10m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
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