您好！歡迎訪(fǎng)問(wèn)安徽貝意克設備技術(shù)有限公司網(wǎng)站！
全國服務(wù)咨詢(xún)熱線(xiàn)：
18019970653
18019970653
簡(jiǎn)要描述：等離子輝光滑軌PECVD系統1.爐內溫度場(chǎng)的均勻分布2.可自行根據不同溫度曲線(xiàn)3.電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品高性能、免維護
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2020-06-17訪(fǎng) 問(wèn) 量：1821相關(guān)文章
Related Articles詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
等離子輝光滑軌PECVD系統產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本設備主要針對實(shí)驗石墨烯生長(cháng)和制備使用，同時(shí)該設備可以用于碳納米管的生長(cháng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
等離子輝光滑軌PECVD系統高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻
爐溫度控制系統采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無(wú)須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線(xiàn)的升、降溫要求調整輸出信號，同時(shí)系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護，提高了設備質(zhì)量的可靠性。
most高溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ50/φ100mm（爐管直徑可根據實(shí)際需要定制。） |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類(lèi)型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7/10寸工控電腦，內置PLC控制程序。 |
加熱長(cháng)度 | 230mm/440mm |
恒溫長(cháng)度 | 100mm/200mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、PE射頻電源
功率輸出范圍 | 0W~150/500W |
most大反射功率 | 100W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 | ≤5W |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強制風(fēng)冷 |
3、三路質(zhì)子流量控制系統
連接頭類(lèi)型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm （可根據用戶(hù)要求定制） |
準確度 | ±1.5%F.S |
線(xiàn)性 | ±1%F.S |
重復精度 | ±0.2%F.S |
響應時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
most大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
4、低真空機組
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽氣速率 | 10m³/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
產(chǎn)品咨詢(xún)
地址：安徽省合肥市宜秀路6號貝意克肥西基地
郵箱：besteq@163.com
傳真：86-0551-65148123
電話(huà)
微信掃一掃
當前位置：