氣路系統參數

 質(zhì)量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

 準確度：±1.5%

 線(xiàn)性：±0.5～1.5%

 重復精度：±0.2%

 響應時(shí)間：≤10 sec

 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

 最大壓力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 顯示：4位數字顯示

 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體  

 內外雙拋不銹鋼管：Φ6

 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥：Φ6

 連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭。

 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質(zhì)量流量計。

低真空系統參數

抽速:10m3/h

極限真空度：5*10^-1pa

電源：220V 50HZ

電機功率：0.4kw  

進(jìn)排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機轉速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計參數：

1.配用規管：電阻規，

2.測量范圍： 10⁵～10^-1Pa，

3.測量路數： 1路

4.控制范圍： 5×10³～5×10^-1Pa，

5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

高真空系統參數

空氣相對濕度：≤85%

工作電壓：AC220V±10%  50/60HZ

功率：1KW

系統整體極限真空度：10^-5Pa

實(shí)驗真空度：10^-3Pa

外形尺寸：850×600×650mm

機械泵:

抽氣速率：10m3/h

容油量：1.1L

電機功率：400W

極限壓強：6×10^-2Pa

分子泵:

抽氣速率：100L/S

極限壓強：6×10^-6Pa

啟動(dòng)時(shí)間：＜2min

額定轉速：4300轉/分

冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)，水冷。

分子泵控制器:

電壓：220V±22V

啟動(dòng)電流：≤7A

輸入頻率：47HZ~63HZ

最大輸出功率：≤150W

最大加速電壓：≤40V

加速時(shí)間：≤3min

頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

                        低速430HZ±5HZ

復合真空計:

測量路數：2路（電阻規、電離規各1路）

工作模式：手動(dòng)/自動(dòng)

電阻單元參數

規管型號：電阻規

測量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

電離單元參數

規管型號：電離規

可測范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

規管除氣方式：焦耳去氣

其他參數

控制路數：4路

控制方式：點(diǎn)動(dòng)或區域控制/帶掉電記憶

控制精度：±1%

采樣時(shí)間：1s

電源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用環(huán)境溫度：0℃~45℃

濕度：≤85%

連接管路:采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10^-9Pa.m³/s

備注：

根據工藝要求可選配低真空或高真空系統