加熱區參數

額定功率：5kw

最高溫度：1200℃

工作溫度：1100℃

最大升降溫速率：≤30℃/min

爐管尺寸：高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm  (管徑可選)

加熱區長(cháng)度：200+200mm

恒溫區長(cháng)度：290mm

控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。

標準配件：石英管1支，莫來(lái)石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支；

尺寸：約 550×380×600 mm（爐子）

約：1700×380×620 mm（爐子+滑軌）

可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。

氣路系統參數

質(zhì)量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

準確度：±1.5%

線(xiàn)性：±0.5～1.5%

重復精度：±0.2%

響應時(shí)間：≤10 sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

最大壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數字顯示

工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體

內外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa，0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭

可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計

低真空系統參數

抽速：10m³/h

極限真空度：5*10^-1pa

電源：220V 50HZ

電機功率：0.4kw

進(jìn)排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機轉速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計參數：

1.配用規管：電阻規

2.測量范圍： 10⁵ ～10^-1Pa

3.測量路數： 1路

4.控制范圍： 5×10³～5×10^-1Pa，

5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

使用注意事項