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小三溫區滑軌CVD

簡(jiǎn)要描述:小三溫區滑軌CVD控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能.

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-III-S-SL-3ZL
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2021-09-27
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1411

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小三溫區滑軌CVD技術(shù)參數

 小三溫區滑軌CVDBTF-1200C-III-S-SL-4ZL

尺寸

750×440×590mm ( 爐子)/2000×490×760mm ( 爐子+滑軌)

爐管尺寸

?50/?60/?80/?100*1850mm(各管徑可選)

加熱區長(cháng)度

200+200+200mm(600mm)

恒溫區長(cháng)度

300mm

工作溫度

1100℃

最高溫度

1200攝氏度

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度

±1℃

推薦升溫速率

10-20℃/min

額定電壓

AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

額定功率

6KW

 供氣系統

外形尺寸

600x600x650mm

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

100、200、500sccm(可根據用戶(hù)要求定制)

準確度

±1.5%F.S.

線(xiàn)性

±0.5~1.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S.

響應時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

 低真空機組

工作環(huán)境

5℃~40℃

空氣相對濕度

≤85%

工作電電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25


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