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簡(jiǎn)要描述：雙獨立溫區滑軌爐CVD設備（可于生長(cháng)硫化鉬）提供兩個(gè)獨立滑動(dòng)的溫場(chǎng)，兩溫場(chǎng)獨立控制，每個(gè)溫場(chǎng)的加熱區的長(cháng)度為230mm，可在實(shí)驗過(guò)程中推進(jìn)或推離樣品，提供兩個(gè)位置的快升降溫。
產(chǎn)品型號：BTF-1200C-II-SSL-CVD廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2021-09-27訪(fǎng) 問(wèn) 量：1388詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
雙獨立溫區滑軌爐CVD設備(可于生長(cháng)硫化鉬)主要特點(diǎn)
1.此款設備提供兩個(gè)獨立滑動(dòng)的溫場(chǎng)，兩溫場(chǎng)獨立控制，每個(gè)溫場(chǎng)的加熱區的長(cháng)度為230mm，可在實(shí)驗過(guò)程中推進(jìn)或推離樣品，提供兩個(gè)位置的快升降溫。
2.縱向多接口真空法蘭設計，各種附加接口具有高度可擴展性。航空鋁合金法蘭支架外形美觀(guān)，輕便堅固耐腐蝕，安裝調節簡(jiǎn)便易學(xué)。避免傳統鈑金法蘭支架的安裝調節不便，在安裝多種附件時(shí)容易導致法蘭偏斜漏氣甚至石英管意外破碎的情況。
3.同時(shí)法蘭端采用卡箍密封，這樣就使進(jìn)料出料更加的方便。
4.采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數設置和操作直觀(guān)方便，參數自動(dòng)記錄保持。
5.進(jìn)氣系統可以按照客戶(hù)的實(shí)驗需求配置幾路質(zhì)量流量計，流量計的量程也可以選擇不同的配置，真空系統也可以根據客戶(hù)的需求選擇配置各種真空泵。
雙獨立溫區滑軌爐CVD設備(可于生長(cháng)硫化鉬)技術(shù)參數
雙獨立溫場(chǎng)滑軌爐BTF-1200C-II-SSL
| 爐管尺寸：外徑（50mm,60mm,80mm,100mm)可選 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 加熱區長(cháng)度：230mm+230mm 恒溫區長(cháng)度：80mm+80mm（±1℃） 工作溫度：1100℃ 最高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度：±1℃ 升溫速度：20度/分鐘 爐門(mén)結構：開(kāi)啟式 工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：4KW |
供氣系統
| 標準量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm； 準確度：±1.5% 線(xiàn)性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭Φ6 |
低真空系統
| 空氣相對濕度≤85% 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：4L/s 極限真空：4X10-2Pa 實(shí)驗真空度：1.0X10-1Pa |
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