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PECVD系統

簡(jiǎn)要描述：PECVD系統產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本設備主要針對實(shí)驗石墨烯生長(cháng)和制備使用，同時(shí)該設備可以用于碳納米管的生長(cháng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2021-10-14
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：1587

產(chǎn)品分類(lèi)

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品牌貝意克價(jià)格區間面議
儀器種類(lèi)管式爐產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子

      PECVD系統加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無(wú)須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線(xiàn)的升、降溫要求調整輸出信號，同時(shí)系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護，提高了設備質(zhì)量的可靠性。              

1、加熱系統

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

φ50/φ100mm（爐管直徑可根據實(shí)際需要定制。）

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7/10寸工控電腦內置PLC控制程序。

加熱長(cháng)度

230mm/440mm

恒溫長(cháng)度

100mm/200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相，220V，50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍

0W~150/500W

最大反射功率

100W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強制風(fēng)冷

功率輸出范圍

0W~150/500W

最大反射功率

100W

3、PECVD系統的三路質(zhì)子流量控制系統        

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程（N2)

50sccm，100sccm、500sccm（可根據用戶(hù)要求定制）

準確度

±1.5%F.S

線(xiàn)性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時(shí)間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

4、低真空機組

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃～40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連




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