當前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > PECVD系統 > 簡(jiǎn)易版 > BTF-1200C-S-PECVD微型PECVD系統

微型PECVD系統

簡(jiǎn)要描述：微型PECVD系統本設備主要針對實(shí)驗中試石墨烯生長(cháng)和制備使用，同時(shí)該設備可以用于碳納米管的生長(cháng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號：BTF-1200C-S-PECVD
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2021-09-30
訪(fǎng) 問(wèn) 量：3954

產(chǎn)品咨詢(xún)聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類(lèi)

Product Category

PECVD系統

智能型簡(jiǎn)易版回轉型

查看全部

相關(guān)文章

詳細介紹

品牌	貝意克	價(jià)格區間	面議
儀器種類(lèi)	管式爐	產(chǎn)地類(lèi)別	國產(chǎn)
應用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子

微型PECVD系統微型PECVD系統

高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無(wú)須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線(xiàn)的升、降溫要求調整輸出信號，同時(shí)系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護，提高了設備質(zhì)量的可靠性。

1、加熱系統

最高溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據實(shí)際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類(lèi)型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數自整定。
加熱長(cháng)度	230mm
恒溫長(cháng)度	100mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍	0W~500W
最大反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強制風(fēng)冷

3、三路質(zhì)子流量控制系統

連接頭類(lèi)型	雙卡套不銹鋼接頭
標準量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm（可根據用戶(hù)要求定制）
準確度	±1.5%F.S
線(xiàn)性	±1%F.S
重復精度	±0.2%F.S
響應時(shí)間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
最大壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內外雙拋不銹鋼管	Φ6

4、機械泵

抽氣速率	10m3/h
極限真空	5X10-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進(jìn)氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

產(chǎn)品咨詢(xún)

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話(huà)：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說(shuō)明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫(xiě)阿拉伯數字），如：三加四=7

上一篇：BTF-1200C-S-SL-PECVD滑軌式PECVD
下一篇：1600℃ 12L 高溫箱式爐（MF-1600C-II）

微型PECVD系統

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話(huà)：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說(shuō)明：

驗證碼：