簡(jiǎn)要描述:多功能回轉CVD系統由加熱系統、爐管轉動(dòng)系統、供氣系統、真空系統,工控及操作系統等結構組成。
詳細介紹
品牌 | 貝意克 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
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應用領(lǐng)域 | 能源,綜合 |
多功能回轉CVD系統:由加熱系統、爐管轉動(dòng)系統、供氣系統、真空系統,工控及操作系統等組成。
加熱主體 | |
額定功率 | 10KW |
額定電壓 | AC 220V (L+N+PE)2P 63A空開(kāi) |
最高溫度 | 1400℃ |
持續工作溫度 | ≤1300℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區數量 | 2區,獨立控溫 |
加熱區長(cháng)度 | 300+300mm |
熱電偶 | S型熱電偶 |
控溫方式 | 人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現雙控,采用模糊型PID控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅碳棒 |
腔體尺寸 | 中間外徑?100* 端頭外徑?60*長(cháng)度1400mm |
管徑尺寸 | Φ60*1400mm |
爐膛保溫材料 | 氧化鋁纖維 |
表面溫度 | ≤60℃ |
金屬密封法蘭 | 磁流體密封法蘭 |
控制器 | 可編程控溫儀表,PID調節,升、降保溫全自動(dòng) |
無(wú)紙記錄 | 內置存儲記錄運行工藝數據,外接USB接口可以電腦連接一鍵拷貝數據 |
三路供氣系統 | |
連接頭類(lèi)型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
流量計類(lèi)型 | 浮子流量計(3個(gè)),量程可選 |
最大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6 |
內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
壓力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6卡套接頭 |
真空系統 | |
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽氣速率 | 10m3/h |
實(shí)驗真空度 | 5.0X10-1Pa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
轉速 | 1450rpm |
噪音 | 50dB |
真空計 | |
配用規管 | ZJ-52T電阻規 |
測量范圍 | 10 5 ~10 -1 Pa |
測量路數 | 1路 |
控制范圍 | 5×10 3 ~5×10 -1 Pa |
控制方式 | 繼電器觸點(diǎn)輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載 |
電源 | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz |
功耗 | 20W |
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