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小型浮動(dòng)催化系統CVD系統

簡(jiǎn)要描述:BTF-1500C-CVD是小型浮動(dòng)催化系統CVD系統,配備真空系統,可以低壓條件下進(jìn)行實(shí)驗;設備配有雙向推拉注射泵、氧分析儀、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等組件。

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1500C-CVD
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-08-22
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:76

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小型浮動(dòng)催化系統CVD系統

(1)該款設備是小型浮動(dòng)催化 CVD 系統,配備真空系統,可以低壓條件下進(jìn)行實(shí)驗;設備配有雙向推拉注射泵、氧分析儀、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等組件。
(2)加熱爐為三溫區立式爐,上端法蘭配有導液桿(可上下調節)和 1 個(gè)進(jìn)氣口;下端法蘭配有安全保護泄壓裝置,底部配有收集罐,收集罐放置于小車(chē)上便于移動(dòng),真空系統方面由一個(gè)電阻規和一臺 BSV30機械泵組成;尾部配有不銹鋼過(guò)濾裝置;加熱爐爐體為密封結構,同時(shí)備有可通循環(huán)氣體的進(jìn)出口。
(3)防爆控制柜配有 15 寸觸摸屏及按鈕操作組件,下方配有氧分析儀、觸摸防爆鼠標以及氣路手閥組件;柜體左側配有可切換鼓泡裝置的組件;最頂部箱體配有雙向推拉注射泵,供液體連續工作。


小型浮動(dòng)催化系統CVD系統

電壓

380V

功率

13.5KW

加熱區長(cháng)度

250mm*250mm*250mm

工作溫度

≤1500℃

推薦升溫速率

1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min,1600℃以下≤2℃/min

熱電偶

B型熱電偶

控溫方式

模糊PID控制和自動(dòng)整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

加熱元件

硅鉬棒  12根(每個(gè)溫區上下各4根)

加熱爐尺寸

1225*1220*2350mm(長(cháng)x寬x高)

控制柜尺寸

1110*1020*2710mm(長(cháng)x寬x高)

設備總重

約780KG

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