這是一臺1600℃多源高溫CVD系統。本設備按客戶(hù)要求加裝剛玉管一支，加熱爐，循環(huán)泵、排風(fēng)系統、機架等。電氣控制采用內置控溫儀表，其控溫精準且操作直觀(guān)簡(jiǎn)便。爐管為剛玉管，外徑￠60m，長(cháng)度1000mm。爐管橫放固定于爐膛內。左端法蘭為進(jìn)氣端，配有壓力保護組件和2個(gè)進(jìn)氣口，其中一路由截止閥控制，為進(jìn)混氣；另外一路為環(huán)硼氮烷，通過(guò)電磁閥+單向閥控制；右端法蘭為出氣端，配有蝶閥控制的壓力控制系統和真空泵組成，法蘭前端配有攪拌機構，對于尾端沉積物料具有清理作用，同時(shí)配有過(guò)濾組件。設備進(jìn)氣端液態(tài)源蒸發(fā)組件制冷制熱由循環(huán)泵工作，通過(guò)循環(huán)泵工作，以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實(shí)現低溫、高溫下的切換。液態(tài)源密封腔室和加熱爐密封腔室，均通過(guò)PVC管道連接至腔室頂部，通過(guò)管道風(fēng)機與客戶(hù)排風(fēng)系統對接。這臺1600℃多源高溫CVD系統設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。爐體和門(mén)板顏色采用深灰+時(shí)尚橘紋白。設備簡(jiǎn)約又不乏穩重，更具備操作直觀(guān)方便、控溫精確等性能。