1）加熱系統2）Plasma系統3）爐管轉動(dòng)系統4）觸屏操作系統5）進(jìn)出氣法蘭組件6）爐管 7）真空系統。

（1）加熱系統：

該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，該系統設置有超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。溫區為單溫區，溫區長(cháng)440mm，異形石英管規格采用Φ60*Φ100*1200。

（2）Plasma系統：

本系統借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過(guò)反應氣態(tài)放電，有效利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式。

（3）爐管轉動(dòng)系統：

爐管轉動(dòng)系統可以讓爐管360°勻速轉動(dòng)，轉速在0.25-25r/min連續可調。

（4）觸屏操作系統：該系統可以讓設備在自動(dòng)模式下高度自動(dòng)化運行，所有參數程序設定好后自動(dòng)運行：可實(shí)現按照設定程序連續工作，可設置多工作段不同參數，并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。

（5） 進(jìn)出氣法蘭組件：設備法蘭左端為進(jìn)氣端，一側配有球閥控制的進(jìn)氣口，另一側預留KF25接口，上部配有壓力表，左側端面為KF50接口。右端為出氣端，一側由球閥控制的出氣口，另一側為KF25抽口，上部配有真空計，右側端面為KF50接口。

（6）爐管：爐管為異形石英管，通過(guò)左右兩端磁流體密封法蘭實(shí)現真空下的回轉，

（7）真空系統：由一個(gè)電容真空計和一臺DRV16機械泵組成，抽口端由KF25手動(dòng)擋板閥控制，并配有粉塵過(guò)濾器。