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簡(jiǎn)要描述：1、氣體先經(jīng)過(guò)氣體預熱爐預熱后進(jìn)入流化床反應腔體，可以降低大量冷氣流進(jìn)入腔體對工藝的影響。2、反應器出口配有攪動(dòng)裝置， 防止碳管在反應器出口堵塞。3、進(jìn)液口附近配有測溫熱電偶， 可以控制進(jìn)液口的溫度。4、進(jìn)液口活動(dòng)式， 可以根據工藝需要的溫度調整上下位置。5、收集器排氣口安裝可轉動(dòng)式濾網(wǎng)，方式濾網(wǎng)堵塞。
產(chǎn)品型號：BST-1200C-CVD廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2024-08-29訪(fǎng) 問(wèn) 量：40詳細介紹
| 品牌 | 貝意克 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 能源,電子,航天,汽車(chē),綜合 |
5、收集器排氣口安裝可轉動(dòng)式濾網(wǎng)，方式濾網(wǎng)堵塞。
爐管材質(zhì) | 石英管 |
爐管尺寸 | Φ300mm（外徑） |
加熱元件 | 電阻絲 |
工作溫度 | ≤1100℃ |
溫控系統 | 30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為液晶觸摸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱區長(cháng)度 | 300+300+300+300+300mm（5溫區） |
| 氣路系統 | 內部裝有5路高精度質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量，按要求配比 |
準確度 | ±1.5% |
線(xiàn)性 | ±0.5～1.5% |
重復精度 | ±0.2% |
響應時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
預抽真空泵抽速 | 60m3/H |
氣體預熱爐加熱區長(cháng)度 | 300+300+300mm |
預熱爐加熱元件 | 電阻絲 |
預熱爐盤(pán)管材質(zhì) | 310S |
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