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智能型PECVD系統

簡(jiǎn)要描述：PECVD-III-500A-D210是一款智能型PECVD系統。該設備主要分為四大部分：多溫區管式爐、射頻組件、氣路系統、及自動(dòng)化控制軟件集成系統。

  • 產(chǎn)品型號：PECVD-III-500A-D210
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2024-09-04
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：140

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智能型PECVD系統

該設備主要分為四大部分：多溫區管式爐、射頻組件、氣路系統、及自動(dòng)化控制軟件集成系統。

1、開(kāi)啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點(diǎn)控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可電動(dòng)開(kāi)啟方便客戶(hù)更換維修反應管。

2、氣路系統

可由質(zhì)量流量計精確控制多路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，另外單獨1路過(guò)鼓泡器后進(jìn)入反應管內。

3、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻，可使整個(gè)反應腔體都處于輝光產(chǎn)生區。
4、 智能控制系統          
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。


智能型PECVD系統

最高溫度

1200℃

持續工作溫度

≤1100℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能，人機界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，數字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實(shí)現雙控

加熱總功率

≤15KW

加熱區尺寸

300+300+300mm

射頻功率

1000W

設備尺寸

2550*850*1600mm

設備重量

約600KG

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