預熱器參數：

工作溫度：400℃

zui高溫度：1100℃

zui快升溫速率：≤30℃/min

*升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制

工作電壓：AC220V

額定功率：800W

控溫精度：±1℃

加熱元件：電阻絲

加熱區參數：

加熱元件:電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
加熱區長(cháng)度：400mm（200+200mm）
恒溫區長(cháng)度: 200mm  (100+100mm)（±1℃）
工作溫度：1100℃
zui高溫度：1200℃
控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度:±1℃

zui大升降溫速率：≤30℃/min

爐管：高純度石英管Φ25506080100150x2000mm  (管徑可選)

標準配件：石英管1支，莫來(lái)石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，氟膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支；

尺寸約：2000×600×1500 mm（長(cháng)、寬、高）

備注：可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。

氣路系統參數：

質(zhì)量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

準確度：±1.5%

線(xiàn)性：±0.5～1.5%

重復精度：±0.2%

響應時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

zui大壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

內外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭。

備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計。

低真空系統參數：

國產(chǎn)油泵型號：BSV-10

抽速：10m³/h

極限真空度：5*10-1pa

電源：220v 50hz

電機功率：0.4kw  

進(jìn)排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機轉速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計參數：

1.配用規管：ZJ-52T電阻規，

2.測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa，

3.測量路數： 1路

4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa，

5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

射頻源主要參數：

信號頻率：13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍：0-500W

zui大反射功率:100W

射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female

功率穩定性：≤5W

諧波分量：≤-50dbc

供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V） 頻率50/60HZ

整機效率：>=70%

功率因素：>=90%

冷卻方式：強制風(fēng)冷

備注：可根據腔體大小選擇射頻源功率。